SVCS SVaFUR-FP LPCVD

Высокопроизводительные горизонтальные диффузионные печи
Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
Рабочая зона до 1067мм
Диапазон температур — до 1300°C
Количество зон: 3 или 5
До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
Размер подложки — Ø 150мм, 200мм, 300мм

Обратная связь